低空氣入口濾清器
晶圓傳輸系統
清潔干燥空氣 (CDA)
規格
性能數據
產品規格
材料膜:疏水性氟聚合物聚四氟乙烯 支架,外殼。
輸入:PFA推薦流量30標準升每分鐘連接1/8", 1/4" 壓縮密封膜面積12 厘米2 (1.9 英寸2)顆粒保留>99.9999999%去除所有直徑大于0.0015微米的顆粒(在最穿透粒子尺寸下驗證)操作條件最大工作壓力:
20°C時為0.41 MPa(4.1 bar,56.6 psid) 最大正向差壓:0.34 MPa (3.4 bar, 50.0 psid) 在 20°C 最大反向差壓:0.03 MPa (0.3 bar, 4.35 psid) 在 20°C 最高工作溫度:50°C (122°F)維度長度:1/8" 密封: 69 毫米 (2.7”)
1/4" 密封: 71.5 毫米 (2.8”) 直徑:21.5 毫米 (0.85”)

配件
Wafergard

GT-Plus 在線氣體過濾器 配件
JPMFJK001
6.34 毫米 (1/4") PFA 壓縮卡套和螺母,用于 Wafertard

GT-Plus 氣體過濾器
零件編號
Wafergard

GT-Plus 在線氣體過濾器 部件編號